近幾年來(lái)，隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。記者在不久前召開的全國(guó)特種氣體第十四次年會(huì)上了解到，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展，就高純四氟化碳來(lái)說(shuō)，“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代已經(jīng)結(jié)束。 光明化工研究設(shè)計(jì)院總工程師孫福楠介紹說(shuō)金融危機(jī)暴發(fā)前，由于國(guó)內(nèi)不具備四氟化碳規(guī)模化生產(chǎn)能力，有錢也買不到產(chǎn)品，市場(chǎng)經(jīng)常出現(xiàn)“有價(jià)無(wú)貨”的現(xiàn)象。但隨著國(guó)產(chǎn)高純四氟化碳的入市，現(xiàn)在“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代已經(jīng)結(jié)束。據(jù)佛山市華特氣體有限公司副總經(jīng)理傅鑄紅介紹，目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)每年需要高純四氟化碳約1000噸，純度達(dá)99.9995%的國(guó)產(chǎn)貨基本可滿足國(guó)內(nèi)需求。 我國(guó)制氟技術(shù)的進(jìn)步主要得益于軍工技術(shù)的支撐，中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工業(yè)理化工程研究院等長(zhǎng)期以來(lái)依托雄厚的技術(shù)力量，為我國(guó)制氟技術(shù)的進(jìn)步提供了重要的技術(shù)支持。 據(jù)了解，高純四氟化碳?xì)鈴V泛應(yīng)用于硅材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。我國(guó)目前有多家氣體公司如北京綠菱氣體科技有限公司、佛山市華特氣體有限公司等生產(chǎn)高純四氟化碳。 |
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