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2015年，為打破國(guó)際壟斷，搶占國(guó)內(nèi)高純C₄F₆市場(chǎng)，浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出自主開發(fā)新一代含氟電子氣體C₄F₆的提純技術(shù)。

“C₄F₆是浙化院首個(gè)自主開發(fā)的電子級(jí)特氣品種，因此，項(xiàng)目初期，我們對(duì)工藝、設(shè)備等一無所知，完全是白手起家”，特氣室負(fù)責(zé)人介紹說，“更加困難的是，國(guó)內(nèi)外的文獻(xiàn)幾乎沒有電子級(jí)C₄F₆提純技術(shù)的公開報(bào)道，攻關(guān)工作只能從理論分析開始。”

在查閱了大量資料，了解了含氟二烯烴C₄F₆物化性質(zhì)后，項(xiàng)目組開始嘗試C₄F₆提純研究。項(xiàng)目組首先探究了C₄F₆分子價(jià)鍵與電子云密度分布，計(jì)算了C₄F₆及其有機(jī)雜質(zhì)分子特性，接著搜集重要數(shù)據(jù)，進(jìn)行軟件模擬。終于，在經(jīng)過對(duì)C₄F₆及其雜質(zhì)物性深入研究分析后，項(xiàng)目組提出了創(chuàng)新的提純方法。

▲ 研發(fā)人員開展吸附提純實(shí)驗(yàn)

▲ 量子化學(xué)吸附過程及分子模擬計(jì)算圖

隨著項(xiàng)目任務(wù)的不斷推進(jìn)，困難也層出不窮。

其一，在原料雜質(zhì)的分析定性問題上，由于新化合物沒有標(biāo)準(zhǔn)譜圖，技術(shù)人員與分析專家一起推敲，尋找其中的不同，終于確定主要雜質(zhì)，為實(shí)驗(yàn)開展掃清了障礙。

其二，C₄F₆是含氟烯烴，有機(jī)雜質(zhì)與產(chǎn)品結(jié)構(gòu)相近，分離難度大。為了攻克該難題，項(xiàng)目組多次組織專題討論會(huì)，張建君總經(jīng)理進(jìn)行詳盡的技術(shù)指導(dǎo)，從C₄F₆本身物化性質(zhì)到純化工藝操作，詳細(xì)分析并修改相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)方案。

其三，針對(duì)有機(jī)雜質(zhì)分離難度大的問題，項(xiàng)目組進(jìn)行了大量的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)，考察并反復(fù)優(yōu)化了上百個(gè)配方，經(jīng)常工作到深夜，最終選出了適用的高效吸附劑。

同時(shí)，在經(jīng)歷實(shí)驗(yàn)室改造場(chǎng)地受限、設(shè)備提純性能下降等一系列突發(fā)狀況下，項(xiàng)目組仍不斷調(diào)整設(shè)備參數(shù)、完善提純工藝，完成了既定的C₄F₆提純技術(shù)開發(fā)任務(wù)，并進(jìn)行了電子級(jí)C₄F₆樣品生產(chǎn)。C₄F₆是一個(gè)附加值高，市場(chǎng)前景廣闊的新品，國(guó)內(nèi)不少同行都對(duì)其開展了研究，而目前，僅浙化院成功拿出了樣品。