二氟化氙(XeF2) | |
化學(xué)式 | XeF2 |
中文名稱 | 二氟化氙 |
英文名稱 | Xenon difluoride |
CAS No. | 13709-36-9 |
分子量 | 169.289806 |
充裝系數(shù) | |
應(yīng)用 | 在MEMS 的蝕刻工藝中,二氟化氙(XeF2)氣態(tài) 被用于去除硅的犧牲區(qū)域。通常與無(wú)水氟化氫(HF)搭配使用。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.999% |
百科:
二氟化氙是一種無(wú)色固體,在室溫下容易升華而形成大的透明晶體。二氟化氙蒸汽是無(wú)色的,具有令人發(fā)嘔的惡臭。它是極強(qiáng)的氧化劑,可使許多有機(jī)、無(wú)機(jī)化合物氟化而放出氙,可從氯化氫中釋放氯氣,將碘化鉀氧化成碘。它是一種選擇性很好的氟化試劑,在無(wú)機(jī)氟化物制備及有機(jī)合成中有廣泛的應(yīng)用。
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