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    • 0755-28260986

      產(chǎn)品展示

      乙硼烷 B2H6

      產(chǎn)品型號(hào):40L-8L

      產(chǎn)品摘要

      乙硼烷 B2H6
      sitedir/imb100/imb10001/upfiles/image/14018569900.jpg

      詳細(xì)介紹

      應(yīng)用:在離子植入中用作硼源(P摻雜)、用于外延生長(zhǎng) 
      容器:氣瓶

      包裝:2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標(biāo)準(zhǔn)氣都采用特殊處理氣瓶貯存,并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。


      成分

      規(guī)范                                  

      單位

      B2H6

      99.999%%V
      N2

      8ppmv
      O2

      2ppmv
      CO2

      5ppmv
      H2O

      5ppmv
      其它氟碳

      50ppmv
      酸度(HF)

      0.1ppmw

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