應(yīng)用:在離子植入中用作硼源(P摻雜)、用于外延生長(zhǎng) 容器:氣瓶
包裝:2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標(biāo)準(zhǔn)氣都采用特殊處理氣瓶貯存,并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。
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