R31SL 系列膜片式減壓器,采用雙級(jí)減壓結(jié)構(gòu),輸出壓力穩(wěn)定精確,適用于小流量場(chǎng)合。
結(jié) 構(gòu) 特 點(diǎn)
Features
u 雙級(jí)式減壓結(jié)構(gòu)
u 膜片與母體采用硬密封形式
u 母體螺紋:1/4” NPT (F)
u 安全壓力:1.5 倍的最大輸入壓力
u 適用溫度:-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
u 泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
u CV 值:0.08
u 重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材 質(zhì)
Materials
u 母體:銅電鍍,316L
u 閥座:PCTFE,PTFE,Vespel?
u 膜片:316L,Hastelloy?
適 用 范 圍
Typical Applications
u 鋼瓶氣
u 實(shí)驗(yàn)室
u 氣相分析
u 測(cè)試儀表
u 石油化學(xué)工業(yè)
u 電廠設(shè)備
氣體名稱+濃度 | 純度 | 容積/重量 | 接口類型 |
硅烷100%SIH4 | 6N | 47L /10KG | DISS632 |
硅烷100%SIH4 | 6N | 47L /15KG | DISS632 |
硅烷 SIH4 20%+N2 | 5N | 47L | CGA350 |
磷烷 5%PH3+N2 | 5N | 44L | CGA350 |
硼烷 B2H6 3%+N2 | 2N5 | 188CF | CGA350 |
氨氣 NH3 | 5N | 44L | DISS720 |
二氯二氫硅 SiH2CL2 | 3N | 40L / 38KG | CGA678 |
笑氣 NO2 | 5N | 47L | DISS712 |
六氟化二碳 C2F6 | 5N | 47L/ 40KG | DISS716 |
四氟化碳 CF4 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
氦氣 He | 6N | 47L | CGA580 |
氮?dú)?nbsp; N2 | 5N | 47L / 11.8MPa | G518 |
TEOS | 8N5 | 17KG /5gaL | 1/4VCR |
四氟化碳 CF4 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
三氟化氮 NF3 | 4N | 47L/ 20KG | CGA640 |
三氟甲烷 CHF3 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
六氟化硫 SF6 | 5N | 47L/ 50KG | DISS716 |
六氟化二碳 C2F6 | 5N | 47L/ 40KG | DISS720 |
氯氣 CL2 | 5N | 47L / 50KG | CGA660 |
三氯化硼 BCL3 | 5N | 44L / 40KG | DISS720 |
溴化氫 HBr | 5N | 40L/ 10KG | CGA634 |
氦氧 He70%+ 30%O2 | 6N | 47L | CGA580 |
氦氧 He95%+0.5%O2 | 6N | 47L | CGA580 |
氬氣Ar | 6N | 44L/7M3 | CGA580 |
三氟化硼B(yǎng)F3 | 4.4N | 0.7L/100G | CGA330 |
三氟化磷 | 電子級(jí) | 0.7L/100G | CGA330 |
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