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      產(chǎn)品展示

      二氯二氫硅,二氯硅烷

      產(chǎn)品型號(hào):40L

      產(chǎn)品摘要

      1.別名·英文名 二氯硅烷;DichIorosilane. 2.用途: 電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。 3.制法: (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。 (2)在高溫下,硅與氫及氯化氫反應(yīng),再精餾提純
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      詳細(xì)介紹

      二氯二氫硅,二氯硅烷無(wú)色,劇毒,腐蝕性,易燃燒的液化氣體,帶有刺激性的鹽酸味。 應(yīng)用 半導(dǎo)體外延和化學(xué)氣相沉積工藝中的硅源氣體。有機(jī)硅化合物的生產(chǎn)。 分子量 101.01 比重 (Air = 1) 3.52 比容 0.239m3/kg@21.1oC, 101.325kPa< 氣味 刺激性,令人窒息 CAS Registry No. 4109-96-0 包裝:2L、4L、8L、40L、鋁合金鋼瓶、碳鋼瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蝕性和活性氣體組份標(biāo)準(zhǔn)氣都采用特殊處理氣瓶貯存,并統(tǒng)一采用不銹鋼瓶閥。

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